Temperatur og fuktighet i laboratoriebyggingsrommet er hovedsakelig bestemt i henhold til prosesskravene, men det menneskelige komfortnivået bør tas i betraktning når man oppfyller prosesskravene. Med forbedringen av kravene til luftrensing har det vært en stadig strengere etterspørsel etter temperatur og fuktighet i prosessen. De spesifikke prosesskravene for temperatur vil bli oppført senere, men som et generelt prinsipp, på grunn av den stadig bedre bearbeidingsnøyaktigheten, blir kravene til temperaturfluktuasjonsområdet mindre og mindre.
For eksempel, i litografieksponeringsprosessen av storskala integrert kretsproduksjon, er forskjellen i termisk ekspansjonskoeffisient mellom glasset og silikonplaten som maskemateriale nødvendig å være mindre og mindre. 100 um diameter silisiumskive, temperaturstigningen på 1 grad, forårsaket en lineær ekspansjon på 0,24um, den må ha en konstant temperatur på ± 0,1 grader, mens den nødvendige fuktighetsverdien generelt er lavere, fordi folk svetter, vil produktet bli forurenset, spesielt Er redd for natrium halvlederverksted, bør denne verkstedstemperaturen ikke overstige 25 grader, problemet med overdreven fuktighet genererte flere problemer. Når den relative fuktigheten overstiger 55%, vil det danne kondens på kjølevannets rørvegg. Hvis det forekommer i en presisjonsenhet eller krets, vil det føre til ulykker.
Trykkregler
For de fleste rene rom er det nødvendig å opprettholde det indre trykket (statisk trykk) høyere enn det ytre trykket (statisk trykk) for å forhindre inntrenging av ekstern forurensning. Vedlikehold av trykkforskjell skal generelt oppfylle følgende prinsipper:
1. Trykket på rent plass er høyere enn trykket på ikke-rent plass.
2. Trykket på høyrengjøringsnivået er høyere enn trykket på tilstøtende lavt renhetsnivå.
Vedlikehold av trykkforskjellen avhenger av mengden frisk luft som kan kompensere for mengden luft som lekker ut av spalten under denne trykkforskjellen. Så den fysiske betydningen av trykkforskjellen er motstanden mot lekkasje (eller penetrasjon) når luftvolumet passerer gjennom forskjellige hull i ren rommet.
Lufthastighetsregler i det rene rommet
Luftstrømshastigheten som skal diskuteres her, refererer til luftstrømshastigheten i renrommet. Luftstrømningshastigheten i andre cleanrooms diskuteres ved diskusjon av spesifikt utstyr.
For det turbulente rene rommet Fordi hovedmidlene er hovedsakelig avhengig av fortynding av luften for å redusere graden av innendørs forurensning, er begrepet antall luftendringer hovedsakelig brukt i stedet for direkte å bruke begrepet hastighet, men det er også følgende krav til innendørsluftshastighet;
(1) Lufthastigheten ved utløpet til luftutløpet bør ikke være for stor. Sammenlignet med et enkelt luftkondisjonerte rom, krever det raskere demping og større spredningsvinkel.
(2) Luftstrømshastigheten (for eksempel resirkulasjonshastigheten ved siden av sidetilførselen) som blåses over horisontalplanet, bør ikke være for stor, slik at overflatepartiklene ikke blåses opp for å gå tilbake til luftstrømmen og forårsake forurensning. Denne hastigheten anbefales vanligvis ikke å være så stor som 0,2 m / s.
For rensekammeret for parallellflytning "vanligvis referert til som det laminære rene rommet" er tverrsnittets hastighet en meget viktig indikator på grunn av at stempelet hovedsakelig brukes til luftstrøm for å utelukke fargingen. Tidligere ble det referert til USAs 20gB standard og 0,45 ble brukt. m / s. Men folk har også lært at mengden ventilasjon som kreves for så stor fart, er veldig stor. For å spare energi, søker de også muligheten til å redusere vindens hastighet.
I Kina er både Air Cleantech-tiltakene og Cleanroom-designkoden
Vertikal parallellstrøm (laminær strømning) ren rom ≥0,25 m / s
Horisontal parallellstrøm (laminær strømning) ren rom ≥ 0,35 m / s
Støykontroll
Støynivåer for ren laboratoriumkonstruksjon er generelt strengere enn for helsevern. Hensikten er å sikre at operasjonene utføres normalt og at nødvendig samtalekontakt og et trygt og komfortabelt arbeidsmiljø er oppfylt. Derfor er hovedindikatoren for støy i et rent rom.
1. Effekten av problemer
På grunn av støy, føler folk seg urolig og har problemer med følelser. De er vanligvis delt inn i veldig stille, veldig stille, stille, litt støyende, relativt bråkete og svært støyende. Hvor responsnivået er svært støyende og ekstremt støyende, er det høy angst, og andelen av høye antall problemer i totalt antall er høy angstfrekvens.
2. Effekt på arbeidseffektivitet
Dette avhenger hovedsakelig av responsnivået på de tre områdene. Disse tre aspektene er: konsentrasjon, nøyaktighet av handling og arbeidshastighet;
3. Forstyrrelser i integrert kommunikasjon